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從亞微米到奈米世界
Ultra NANO 100
核心技術之融合實現了使用最小的製御單位0.07nm（0.00000007mm）達到當今世界最高水準的加工精度
[Ultra NANO 100]是新開發之超高精度奈米加工機，用於加工對尺寸精度及面精度有高度要求的光學零件用的模具等。
利用0.07單位之直動軸進行精密控制，實現了超高精度加工。只需本加工機一台，就能夠對應光柵鏡、導光板、球面鏡、非球面鏡、球面·非球面微鏡頭等各種模具之加工。並且還搭載了加工鏡頭模具專用之CAM，強力支持球面·非球面微鏡頭陣的模具製作。
主要適用領域
民生用之光學零件（光盤相關、CCD、CMOS用成像鏡頭、液晶導光板的模具）、通信用之光學零件（光傳遞用的高信賴性鏡片的模具等）、機械零件之超精密加工（生物相關零件等）
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標準搭載5軸控制
通過X、Y、Z、A、C5軸之控制，使用球頭刀、磨石等旋轉工具的加工與以往相比，現在也可以對應旋轉工件的車削加工。
實現最小控制單位0.07nm（0.00000007mm）
由於採用了陶瓷材質之構造，最大抑制了熱變位，實現了超高精度加工。
實現平滑之軸驅動及高應答性
陶瓷製空氣軸承及線性馬達的組合構成了完全非接觸之驅動，達到了平滑、高應答、無反向間隙、超高精度的軸驅動。
免維護
實現了前所未有之靜·動精度，並且能夠長期維持。
ACTIVE除振
採用X、Y、Z3軸方向之ACTIVE除振裝置，大幅度降低了地面震動等外部振動，獲得了良好的面精度。
空氣溫度之精密控制（±0.01°）
通過精密製御供應給加工機之空氣溫度（±0.01°），實現了再現性良好的超高精度加工。 |
| 構造 |
氧化鋁系列陶瓷 |
| 導軌方式 |
X、Y、Z軸 |
陶瓷製空氣靜壓導軌 |
| A、C&R軸 |
空氣靜壓軸 |
| 移動量 |
X、Y、Z軸 |
100×100×55mm |
| A軸 |
180° |
| C&R軸 |
無限制 |
| 位置檢測 |
X、Y、Z軸 |
線性光柵尺 0.07nm |
| A軸 |
雷射光編碼器 45，360万万脈衝/旋轉 |
| C軸 |
分度：15，120万脈衝/旋轉 |
| R軸 |
旋轉：121万脈衝/旋轉 |
| 速度 |
X、Y、Z軸 |
快速進給、切削進給：3，000mm/min |
| A軸 |
10min-1 |
| C&R軸 |
分度軸（C軸）：25min-1 |
| 旋轉軸（R軸） 1000min-1 |
| 主軸 |
氣渦輪方式空氣靜壓主軸
50,000min-1/120,000min-1 |
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