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EXC100L
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電火花放電加工機
線切割放電加工機
AP200L
AQ360LX
AQ560LX
AQ327L
AQ537L
AQ750L
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AP450L
AP500L
EXC100L
小孔加工機
HMS加工中心
NANO機床(奈米加工機)
電子束
消耗品
線切割放電加工機
全陶瓷制 線性馬達驅動
超精密線切割放電加工機
EXC100L
實現10奈米的最小驅動單位,因追求NANO而進化之超精密機床
EXC100L通過採用本社製造之氣壓軸承“陶瓷制空氣滑塊”和線性馬達驅動,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現最小驅動單位10奈米,並維持穩定的超精密加工。
產品特徵
產品規格
加工樣品
產品目錄
產品特徵
實現工作臺最小驅動10奈米
通過採用本社製造之陶瓷制空氣滑塊和線性馬達,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現工作臺最小驅動單位10奈米。
標準搭載高性能加工液冷卻裝置
通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置,維持穩定的超精密加工。
主要構造採用陶瓷
由於採用線性馬達驅動方式,無需使用滾珠絲杠,避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外,通過在主要構造材料中採用陶瓷材質,保證了長期穩定的高精度。
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產品規格
各軸行程 X×Y×Z(mm)
100 × 120 × 100
U×V軸行程(mm)
20 × 20
錐度加工控制角度
±6°(板厚:60mm)
最大工件尺寸 寬×長×高(mm)
150 × 150 × 60
最大工件質量(kg)
10(包括夾具等)
機床主體尺寸 寬×長×高(mm)
2280 × 1830 × 1990
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加工樣品
使用φ0.02極細絲之微細齒輪加工
線性馬達帶來的伺服高回應性使齒輪的高精度加工成為可能。
切割絲直徑
φ0.02
工件材質
G5(超硬)
工件板厚
6mm
模塊
0.026
加工面粗糙度
0.70μmRz
加工時間
1小时15分
加工液
油
極細絲實現的纖維噴嘴加工
使用φ0.03極細絲之纖維噴嘴加工(下孔φ0.065mm)。
切割絲直徑
φ0.03
工件材質
SUS材料
工件板厚
0.8mm
溝寬
0.060、0.100mm
加工面粗糙度
0.60μmRz
加工時間
1孔6分、30分
加工液
油
極細絲實現的螺旋狀加工
使用φ0.03之極細絲加工螺旋狀的零部件。
切割絲直徑
φ0.03
工件材質
銅
工件板厚
1.3mm
加工面粗糙度
0.80μmRz
加工時間
2小時13分
加工液
油
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⇒ 線切割放電加工機 EXC100L 目錄(日文)PDF文檔 959 KB
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