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線切割放電加工機
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全陶瓷制 線性馬達驅動
超精密線切割放電加工機

EXC100L

超高精度 小 線性馬達

實現10奈米的最小驅動單位,因追求NANO而進化之超精密機床

EXC100L通過採用本社製造之氣壓軸承“陶瓷制空氣滑塊”和線性馬達驅動,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現最小驅動單位10奈米,並維持穩定的超精密加工。
EXC100L


產品特徵 產品規格 加工樣品 產品目錄

產品特徵

實現工作臺最小驅動10奈米
通過採用本社製造之陶瓷制空氣滑塊和線性馬達,世界首次搭載了完全非接觸XY直交工作臺。並通過搭配使用高分解能光柵尺,實現工作臺最小驅動單位10奈米。

標準搭載高性能加工液冷卻裝置
通過標準搭載高性能加工液冷卻裝置,維持穩定的超精密加工。

主要構造採用陶瓷
由於採用線性馬達驅動方式,無需使用滾珠絲杠,避免了傳送機構部件產生扭曲或磨損。此外,通過在主要構造材料中採用陶瓷材質,保證了長期穩定的高精度。

產品規格

各軸行程 X×Y×Z(mm) 100 × 120 × 100
U×V軸行程(mm) 20 × 20
錐度加工控制角度 ±6°(板厚:60mm)
最大工件尺寸 寬×長×高(mm) 150 × 150 × 60
最大工件質量(kg) 10(包括夾具等)
機床主體尺寸 寬×長×高(mm) 2280 × 1830 × 1990

加工樣品

使用φ0.02極細絲之微細齒輪加工
線性馬達帶來的伺服高回應性使齒輪的高精度加工成為可能。

加工样品
切割絲直徑 φ0.02
工件材質 G5(超硬)
工件板厚 6mm
模塊 0.026
加工面粗糙度 0.70μmRz
加工時間 1小时15分
加工液

極細絲實現的纖維噴嘴加工
使用φ0.03極細絲之纖維噴嘴加工(下孔φ0.065mm)。

加工样品
切割絲直徑 φ0.03
工件材質 SUS材料
工件板厚 0.8mm
溝寬 0.060、0.100mm
加工面粗糙度 0.60μmRz
加工時間 1孔6分、30分
加工液

極細絲實現的螺旋狀加工
使用φ0.03之極細絲加工螺旋狀的零部件。

加工样品
切割絲直徑 φ0.03
工件材質
工件板厚 1.3mm
加工面粗糙度 0.80μmRz
加工時間 2小時13分
加工液

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⇒ 線切割放電加工機 EXC100L 目錄(日文)PDF文檔 959 KB
B-6-11
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