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“Space Series”纳米加工中心
AZ150
AZ150 是高精度、高效率的立型加工中心，使用亚微米的精度来加工小型 零件用的模具。
由于AZ150装备有反向轴，用以抑制高加速度运转时产生的振动和重心位置的变化，实现了效率高的高精度加工。
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无过悬的BOX构造
为适应高速、高加速度的运转，采用了具备高刚性、低重心、不会产生过悬的BOX构造。
最小控制单位3nm
搭载了最小分解能3nm的光栅尺和AC无芯直线电机，实现了高精度、高响应驱动。
能量抵消型双直线电机驱动方式的采用
在X、Y轴上搭载了反向轴。反向轴通过与X、Y驱动轴进行相反位相的驱动，抑制了高加速度驱动所产生的振动和重心位置的变化，实现了高精度、高效率加工。
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通过促使反向轴在与加工工作台相反的位相进行动作，降低了重心位置的变 动以及高加速度驱动中发生的振动，抑制了加工精度和加工面精度低下的现象。 |
120，000min-1高速主轴的搭载
搭载了无发热、旋转精度高的空气静压轴·气涡轮方式的主轴（120，000min-1）。
采用自动热装方式
刀具通过直接热装的方式安装在主轴上。对于热装方式，（1）由于刀具轴部是被大面积夹持，主轴高速旋转时对刀具的夹持力不会下降（不会松弛）；（2）具有刀具交换精度高等优点。能够自动交换15把刀具。
工件·刀具的测定功能搭载
通过使用球状接触探针的接触感知法（电气的接触感知）测定工件位置，并利用雷射光测定刀具径和长度。与自动刀具交换装置的结合使用实现了高精度加工的自动运转。 |
| 机构部 |
行程 X/Y/Z |
150 ×150 ×100mmXY轴+100mm（辅助行程） |
| 相反轴动作X/Y |
150 ×150mm |
| 驱动系统X/Y/Z |
AC无芯电机 |
| 直线光栅尺 |
最小分解能3nm |
| 最小输入单位 |
0.00001mm |
| 切削·定位速度 |
5，0000mm/min |
| 加速度X/Y/Z |
2/1.5/2G 加工时0.5G |
| 导轨X/Y/Z |
交叉滚柱导轨 |
| 最大工件重量 |
5kg |
| 主轴 |
最高旋转数 |
120，000min-1 |
| 轴承&驱动 |
空气静压轴 气涡轮方式 |
| 刀柄系统 |
刀柄方式 |
主轴固定热装式 |
| 刀柄径/长 |
Ф4/20mm |
| 加热方式 |
高频率诱导热装式 2MHz 1KW 加热时间10～15秒 |
| 交换精度 |
2μm以下 标准刀具尖端 |
| 自动交换刀具数 |
15把 |
| 测定 |
刀具长·径测定 |
雷射光方式（最小径φ0.05） |
| 工件测定 |
接触感知方式（同于电火花放电加工机） |
多个型腔加工
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| 工件 |
同于SKD11（60HRC） |
| 刀具 |
CBN R0.1 |
加工
条件 |
Ad |
2μm |
| Rd |
5μm |
| F |
1，200mm/min |
主轴旋转
速度 |
120,000 min-1 |
| 刀具磨耗 |
3 μm/100个 |
| 切削长 |
100m |
| 加工时间 |
2分/个×100个=200分 |
| 加工深度 |
0.2mm |
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测定V90°步距20 μm的连续沟斜面的步距
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| 刀具 |
V90° 单结晶金刚石钻头 |
加工
方法 |
成型加工 |
| 理论值 |
14，142 μm |
| 实测值 |
14，142 μm |
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| 高速加工（高加速度）中刀具路径没有不参齐的现象 |
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