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从亚微米到纳米世界
Ultra NANO 100
核心技术的融合实现了使用最小的控制单位0.07nm（0.00000007mm）达到当今世界最高水准的加工精度
[Ultra NANO 100]是新开发的超高精度纳米加工机，用于加工对尺寸精度和面精度有高度要求的光学零件用的模具等。
利用0.07单位的直动轴进行精密控制，实现了超高精度加工。只需本加工机一台，就能够对应光栅镜、导光板、球面镜、非球面镜、球面·非球面微镜头阵等各种模具的加工。并且还搭载了加工镜头模具专用的CAM，强力支持球面·非球面微镜头阵的模具制作。
主要适用领域
民生用的光学零件（光盘相关、CCD、CMOS用成像镜头、液晶导光板的模具）、通信用的光学零件（光传送用的高信赖性镜片的模具等）、机械零件的超精密加工（生物相关零件等）
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标准搭载5轴控制
通过X、Y、Z、A、C5轴的控制，使用球头刀、磨石等旋转刀具的加工与以往相比，现在也可以对应旋转工件的车削加工。
实现最小控制单位0.07nm（0.00000007mm）
由于采用了陶瓷材质的构造，最大抑制了热变位，实现了超高精度加工。
实现平滑的轴驱动和高响应性
陶瓷制空气轴承和直线电机的组合构成了完全非接触的驱动，达到了平滑、高响应、无反向间隙、超高精度的轴驱动。
免维护
实现了前所未有的静·动精度，并且能够长期维持。
ACTIVE除振
采用X、Y、Z3轴方向的ACTIVE除振装置，大幅度降低了地面震动等外部振动，获得了良好的面精度。
空气温度的精密控制（±0.01°）
通过精密控制供应给加工机的空气温度（±0.01°），实现了再现性良好的超高精度加工。 |
| 构造 |
氧化铝系列陶瓷 |
| 导轨方式 |
X、Y、Z轴 |
陶瓷制空气静压导轨 |
| A、C&R轴 |
空气静压轴 |
| 移动量 |
X、Y、Z轴 |
100×100×55mm |
| A轴 |
180° |
| C&R轴 |
无限制 |
| 位置检测 |
X、Y、Z轴 |
直线光栅尺 0.07nm |
| A轴 |
雷射光编码器 45，360万脉冲/旋转 |
| C轴 |
分度：15，120万脉冲/旋转 |
| R轴 |
旋转：121万脉冲/旋转 |
| 速度 |
X、Y、Z轴 |
快速进给、切削进给：3，000mm/min |
| A轴 |
10min-1 |
| C&R轴 |
分度轴（C轴）：25min-1 |
| 旋转轴（R轴） 1000min-1 |
| 主轴 |
气涡轮方式空气静压主轴
50,000min-1/120,000min-1 |
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