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EXC100L
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线切割放电加工机
全陶瓷制 直线电机驱动
超精密线切割放电加工机
EXC100L
实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。
EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动,并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺,实现最小驱动单位10纳米,并维持稳定的超精密加工。
产品特征
产品规格
加工样品
产品目录
产品特征
实现工作台最小驱动10纳米
通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机,世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺,实现工作台最小驱动单位10纳米。
标准搭载高性能加工液冷却装置
通过标准搭载高性能加工液冷却装置,维持稳定的超精密加工。
主要构造采用陶瓷
由于采用直线电机驱动方式,无需使用滚珠丝杠,避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外,通过在主要构造材料中采用陶瓷材质,保证了长期稳定的高精度。
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产品规格
各轴行程 X×Y×Z(mm)
100 亊 120 亊 100
U×V轴行程(mm)
20 亊 20
锥度加工控制角度
±6°(板厚:60mm)
最大工件尺寸 宽×长×高(mm)
150 × 150 × 60
最大工件质量(kg)
10(包括夹具等)
机床主体尺寸 宽×长×高(mm)
2280 × 1830 × 1990
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加工样品
使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。
电极丝直径
φ0.02
工件材质
G5(超硬)
工件板厚
6mm
模块
0.026
加工面粗糙度
0.70μmRz
加工时间
1小时15分
加工液
油
极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工(下孔φ0.065mm)。
电极丝直径
φ0.03
工件材质
SUS材料
工件板厚
0.8mm
沟宽
0.060、0.100mm
加工面粗糙度
0.60μmRz
加工时间
1孔6分、30分
加工液
桘
极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。
电极丝直径
φ0.03
工件材质
铜
工件板厚
1.3mm
加工面粗糙度
0.80μmRz
加工时间
2小时13分
加工液
油
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