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线切割放电加工机
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全陶瓷制 直线电机驱动
超精密线切割放电加工机

EXC100L

超高精度 小 直线电机

实现10纳米的最小驱动单位。因追求NANO而进化的超精密机床。

EXC100L不仅采用了本社制造的气压轴承“陶瓷制空气滑块”和直线电机驱动,并且世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺,实现最小驱动单位10纳米,并维持稳定的超精密加工。
EXC100L


产品特征 产品规格 加工样品 产品目录

产品特征

实现工作台最小驱动10纳米
通过采用本社制造的陶瓷制空气滑块和直线电机,世界首次搭载了完全非接触XY直交工作台。并通过搭配使用高分解能光栅尺,实现工作台最小驱动单位10纳米。

标准搭载高性能加工液冷却装置
通过标准搭载高性能加工液冷却装置,维持稳定的超精密加工。

主要构造采用陶瓷
由于采用直线电机驱动方式,无需使用滚珠丝杠,避免了传送机构部件产生扭曲或磨损。此外,通过在主要构造材料中采用陶瓷材质,保证了长期稳定的高精度。

产品规格

各轴行程 X×Y×Z(mm) 100 亊 120 亊 100
U×V轴行程(mm) 20 亊 20
锥度加工控制角度 ±6°(板厚:60mm)
最大工件尺寸 宽×长×高(mm) 150 × 150 × 60
最大工件质量(kg) 10(包括夹具等)
机床主体尺寸 宽×长×高(mm) 2280 × 1830 × 1990

加工样品

使用φ0.02极细丝的微细齿轮加工
直线电机带来的伺服高响应性使齿轮的高精度加工成为可能。

加工样品
电极丝直径 φ0.02
工件材质 G5(超硬)
工件板厚 6mm
模块 0.026
加工面粗糙度 0.70μmRz
加工时间 1小时15分
加工液

极细丝实现的纤维喷嘴加工
使用φ0.03极细丝的纤维喷嘴加工(下孔φ0.065mm)。

加工样品
电极丝直径 φ0.03
工件材质 SUS材料
工件板厚 0.8mm
沟宽 0.060、0.100mm
加工面粗糙度 0.60μmRz
加工时间 1孔6分、30分
加工液

极细丝实现的螺旋状加工
使用φ0.03的极细丝加工螺旋状的零部件。

加工样品
电极丝直径 φ0.03
工件材质
工件板厚 1.3mm
加工面粗糙度 0.80μmRz
加工时间 2小时13分
加工液

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⇒ 线切割放电加工机 EXC100L 目录(日文)PDF文件 959 KB
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